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- 激光干涉儀
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線性測(cè)量構(gòu)建
要進(jìn)行線性測(cè)量,需使用隨附的兩個(gè)外加螺絲將其中的一個(gè)線性反射鏡安裝在分光鏡上,這個(gè)組合裝置就是“線性干涉鏡”。線性干涉鏡放置在激光頭和線性反射鏡之間的光路上,用它的反射光線形成激光光束的參考光路,另一束光入射到線性反射鏡,通過(guò)線性反射鏡的線性位移來(lái)實(shí)現(xiàn)線性測(cè)量。如下圖所示
激光干涉儀可用于精密機(jī)床、三坐標(biāo)的定位精度、重復(fù)定位精度、微量位移精度的測(cè)量。測(cè)量時(shí)在工作部件運(yùn)動(dòng)過(guò)程中自動(dòng)采集并及時(shí)處理數(shù)據(jù)。
準(zhǔn)直平臺(tái)/傾斜工作臺(tái)的測(cè)量:由于角度鏡組的不同安裝方式,其測(cè)量結(jié)果代表不同方向的角度值。您可以結(jié)合實(shí)際需要進(jìn)行安裝、測(cè)量。
在直線度測(cè)量過(guò)程中,可以由直線度干涉鏡或者直線度反射鏡運(yùn)動(dòng)所產(chǎn)生相對(duì)于運(yùn)動(dòng)軸的橫向移動(dòng)來(lái)進(jìn)行測(cè)量,一般盡可能的采用直線度干涉鏡相對(duì)于直線度反射的運(yùn)動(dòng),這樣操作有利于提高測(cè)量的準(zhǔn)確性和精度。直線度測(cè)量可以對(duì)水平面和垂直面進(jìn)行測(cè)量,這取決于直線度干涉鏡和反射鏡安裝的方法。
